日立 FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀的特長

1.自動對焦功能 自動接近功能
   在樣品臺上放置各種高度的樣品時，只要高低差在80mm范圍內，即可在3秒內自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。

    ●自動對焦功能    簡便的攝像頭對焦

    ●自動接近功能    最適合位置的對焦

2.通過新 薄膜FP法提高測量精度

   實現微小光束的高靈敏度，通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外，針對檢測器的特性開發了新的EP法，可進行無標樣測量。測量結果可一鍵生成報告書，簡單方便。

    ●新 薄膜EP法    

      減少檢量線制作的繁瑣程度、實現了設定測量條件的簡易化

      無標樣測量方法可進行最多5層的膜厚測量

    ●自動對焦功能和距離修正功能    

      凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量

    ●靈敏度提高

      鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2

    ●生成報告功能

      一鍵生成測量報告書

3.廣域樣品觀察

對測量平臺（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝一張靜態畫面后，可在獲取的廣域觀察圖像上指定狹域的觀察位置。由此，可大幅減少多數測量點位置的選取時間，以及在圖像上難以尋找的特定點位置的選定時間。

    ●廣域圖像觀察    輕松定位